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產(chǎn)品中心

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OLED/LCD 干刻工藝 下部電極

廣泛應(yīng)用在半導(dǎo)體、面板顯示、太陽(yáng)能光伏等真空設(shè)備環(huán)境使用或大氣環(huán)境使用
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半導(dǎo)體 刻蝕工藝 關(guān)鍵零部件 硅部件(Silicon Parts) / 隔熱片 (Gasket)

半導(dǎo)體刻蝕工藝 LAM / TEL / AMEC 設(shè)備里面真空腔體的主要利用零部件。
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靜電吸盤(pán)

通過(guò)靜電吸附作用來(lái)固定晶圓，其優(yōu)點(diǎn)在于吸附作用均勻分布于晶圓表面，晶圓不會(huì)發(fā)生翹曲變形，吸附作用力持續(xù)穩(wěn)定，可以保證晶圓的加工精度；靜電吸盤(pán)對(duì)晶圓污染小，對(duì)晶圓無(wú)傷，可以應(yīng)用于高真空環(huán)境中。
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