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靜電吸盤
所屬分類：
通過靜電吸附作用來固定晶圓，其優(yōu)點(diǎn)在于吸附作用均勻分布于晶圓表面，晶圓不會(huì)發(fā)生翹曲變形，吸附作用力持續(xù)穩(wěn)定，可以保證晶圓的加工精度；靜電吸盤對(duì)晶圓污染小，對(duì)晶圓無傷，可以應(yīng)用于高真空環(huán)境中。
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