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產品中心

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氧化釔、氧化鋁噴涂粉，陶瓷粉

半導體/液晶面板刻蝕工藝所有零部件等離子涂層所用粉末原材料，以及半導體/液晶面板真空腔體陶瓷零部件制品；
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OLED/LCD 干刻工藝 下部電極

廣泛應用在半導體、面板顯示、太陽能光伏等真空設備環(huán)境使用或大氣環(huán)境使用
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半導體 刻蝕工藝 關鍵零部件 硅部件(Silicon Parts) / 隔熱片 (Gasket)

半導體刻蝕工藝 LAM / TEL / AMEC 設備里面真空腔體的主要利用零部件。
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HTCC高溫燒結陶瓷

產品在光通信，微波通訊、工業(yè)激光、汽車電子及消費類電子等領域具有廣闊的應用
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靜電吸盤

通過靜電吸附作用來固定晶圓，其優(yōu)點在于吸附作用均勻分布于晶圓表面，晶圓不會發(fā)生翹曲變形，吸附作用力持續(xù)穩(wěn)定，可以保證晶圓的加工精度；靜電吸盤對晶圓污染小，對晶圓無傷，可以應用于高真空環(huán)境中。
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